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¿ëÀ¶½Ç¸®Ä«(Fused Silica)ÀÇ Æ¯Â¡ ¹× ÀÌ¿ëºÐ¾ß |
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Ư¡ |
¿ëÀ¶ ½Ç¸®Ä«(Fused Silica)
ÇÕ±Ý Ã¶(ÁÖ¹°)ÀÇ ¿°£ ¾ÐÃâ¿¡ »ç¿ëÇϴ ħÀû³ëÁñ(NOZZLE)À» ±¸¼ºÇÏ´Â Àç·á·Î¼ ¹é»öÀÇ ºñÁ¤Áú ¸Á¸ñ ±¸Á¶¸¦ °¡Áö°íÀÖ´Â
¹«Á¤Çü SILICA·Î¼ ¼¼¶ó¹Í Àç·á Áß¿¡¼ ¿ÆØÃ¢ °è¼ö°¡ °¡Àå Àû´Ù.
¿ëÀ¶½Ç¸®Ä«´Â ¼øµµ°¡ ³ôÀº ¹é±Ô¼®À» 2,000¡ÉÀ̻󿡼 ¿ëÀ¶ÇÏ¿© Á¦Á¶µÈ ¿ø·áÀÌ´Ù.
¿ëÀ¶µÈ ¿ø·á¸¦ ¿øÇÏ´Â ÀÔÀÚÇüÅ¿¡ µû¶ó ºÐ¼âÇÏ¿© ÀÔµµº° ¿ø·á¸¦ È¥ÇÕ»ç¿ë °¡´ÉÇÏ°í ´Üµ¶À¸·Îµµ Á¦Ç°ÈµÈ´Ù.  |
ÀÌ¿ëºÐ¾ß |
¿ëÀ¶½Ç¸®Ä«´Â ¿ÆØÃ¢À²ÀÌ ¾ÆÁÖ ÀÛ±â
¶§¹®¿¡(1,000¡É¿¡¼ 0.05%) ³»¿Ãæ°Ý ÀúÇ×¼ºÀÌ ¿ì¼öÇÏ´Ù. ±×¸®°í ¿ëÀ¶½Ç¸®Ä«ÀÇ ¼Ò¼ºÀº ÀÚ±â¼Ò°á¼ºÀÌ ÀÖ¾î¼ ºñ±³Àû
Àú¿Â¿¡¼µµ ¼Ò¼ºÇÏ¿©µµ Ä¡¹ÐÇÑ Á¶Á÷À» ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ ¿ëÀ¶½Ç¸®Ä«´Â À¯µ¿¼ºÀÌ ÁÁÀ¸¹Ç·Î ÁÖÇü(¼®°íƲ)¿¡ À¯ÀÔ½ÃÄÑ º¹ÀâÇÑ
Çü»óÀÇ Á¦Ç°µµ ¸¸µé ¼ö ÀÖ´Ù. ±×·¯¹Ç·Î ¿ëÀ¶½Ç¸®Ä«´Â ÄÚ¿ìÅ©½º·ÎÀÇ µµ¾î, ºñö±Ý¼ÓÀÇ Åë, °ÀÇ ¿¬¼ÓÁÖÁ¶¿ë ³ëÁñ, À¯¸®¿ëÇØ·ÎÀÇ
Æ®Àª, ¿Â¼ö¿ë·ÎÀç, ¹ÝµµÃ¼ µî¿¡ ¾²ÀδÙ.
¿ëÀ¶½Ç¸®Ä«´Â ±âÁ¸¿¡ ÀϺ» µîÁö¿¡¼ Àü·® ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ´ø Á¦Ç°À¸·Î¼, ħÀû³ëÁñÀ» Á¦Á¶ÇÏ´Â Àç·á·Î´Â ½Ç¸®Ä«¸¦ ´ëüÇÒ ¹°ÁúÀº
ÇöÀç Á¸Àç ÇÏÁö ¾Ê´Â´Ù. ´ç»ç´Â ±¹³» °í¼øµµ ¿ëÀ¶ ½Ç¸®Ä« »ý»ê¾÷üÀÌ´Ù.
(ÁÖ)º¸¶÷ÄɸÞÅ»Àº Denka(ÀϺ»)¿¡¼ ÁÖ·Î ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ´ø Á¦Ç°À» ±¹»êÈÇÔÀ¸·Î¼ ¼ö¿ä¾÷ü¿¡ Çõ½ÅÀû ¿ø°¡Àý°¨(¾à25%)¿¡
±â¿© ÇÏ¿´À¸¸ç, Á¦Ç°ÀÇ Ç°ÁúÀ» °áÁ¤ÇÏ´Â SlipÇü¼º°ú ÀÔÀÚÇüŰ¡ ±âÁ¸
¼öÀÔ Á¦Ç°º¸´Ùµµ ¿ì¼öÇÏ´Ù´Â Æò°¡¸¦ ¹Þ°í ÀÖ´Ù. °¡°Ý¸é ¿¡¼µµ °æÀï·ÂÀ» È®º¸Çϰí ÀÖ¾î ¼öÃâ½ÃÀå °³Ã´À» Ȱ¹ßÈ÷ ÁøÇà ÇϰíÀÖ´Ù.
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¿ëÀ¶½Ç¸®Ä« (Fused Silica) ¼¼ºÎ Ư¡ |
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ºÐÀÚ½Ä |
SiO2 |
ºÐÀÚ·® |
60.08 |
¼º»ó |
¹é»öÅõ¸í ¶Ç´Â ºÒÅõ¸íÇÑ ºñÁ¤Áú ¸Á¸ñ±¸Á¶¸¦
°¡Áö°í ÀÖÀ¸¸ç, °ø¾÷Àç·áÁß¿¡¼ ¿ÆØÃ¢°è¼ö°¡ °¡Àå ÀÛ´Ù.
¿¬ÈÁ¡(æãûùïÇ) : 1,650¡É
ºñÁß(Ýïñì) : 2.21
°áÁ¤±¸Á¶(Ì¿ïÜϰðã) : ºñÁ¤Áú
¿ÆØÃ¢(æðø³óì)°è¼ö(Ìõâ¦) : 0.5¡¿10(-6)(1000¡É) |
º°¸í |
¼öÁ¤(Quartz), ¼®¿µÀ¯¸®(Quartz
glass), ÇÕ¼º¼®¿µ(Synthetic Quartz), ½Ç¸®Ä«(Silica) ÀÌ»êȱԼÒ(Silicon dioxide),
½Ç¸®Ä«À¯¸®(Silica glass) |
°³¼³ |
¿ëÀ¶½Ç¸®Ä« Áß ÇÕ¼º¼®¿µÀº Á¾·¡ ÀÎÀç(ìÔî§),
Àå½Äǰ, À¯¸®µîÀ¸·Î »ç¿ëµÇ¾úÁö¸¸ ±Ù·¡¿¡ À̸£·¯ Åë½Å¿ë ±¤ÄÉÀ̺í¿ë Àç·á·Î ÀÌ¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù. |
Á¦¹ý |
¿ëÀ¶½Ç¸®Ä«´Â SiO2
´ÜÀϼººÐÀ¸·Î ±¸¼ºµÇ¾î ÀÖÀ¸¸ç, Á¦¹ýÀº ¿ø·á¿¡ µû¶ó¼ ´ÙÀ½°ú °°ÀÌ ºÐ·ùÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
¨ç |
õ¿¬¼öÁ¤ ¶Ç´Â ±Ô¼®À» ¿ø·á·Î ÇØ¼, ¾ÆÅ©(ºÒ²É)¹æÀüÀ̳ª »ê¼ö¼ÒºÒ²ÉÀ¸·Î
¿ëÀ¶½ÃÄÑ Á¦Á¶Çϴ õ¿¬½Ç¸®Ä«À¯¸®. |
¨è |
»ç¿°È±Ô¼Ò ¶Ç´Â ½Ç¶õµîÀÇ ±âü¿ø·á¸¦ »ê¼ö¼ÒºÒ²ÉÀ̳ª »ê¼ÒÇÁ¶ó½º¸¶Áß¿¡¼
¿ºÐÇØÇÏ¿© ÇÕ¼ºÇÏ´Â ÇÕ¼º½Ç¸®Ä«À¯¸®°¡ ÀÖ´Ù. |
õ¿¬½Ç¸®Ä«À¯¸®´Â ¿ø·á·Î ±Ô¼®À» »ç¿ëÇÑ ºÒÅõ¸í½Ç¸®Ä«À¯¸®¿Í Á¤Á¦ õ¿¬¼öÁ¤À» »ç¿ëÇÑ Åõ¸í½Ç¸®Ä«À¯¸®·Î ³ª´©¾îÁø´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Ãµ¿¬°è´Â
¿ø·á¿¡¼ ±âÀÎÇÏ´Â Al, Fe, NaµîÀÇ ºÒ¼ø¹°ÀÌ ÇÔÀ¯µÇ¾î ÀÖ´Ù. À̵é õ¿¬°è´Â ÁַΠö°ÀÇ ¿¬ÁÖ¼³ºñÀÇ Ä§Àû³ëÁñ, °í¿Â¼ºÇüÀç,
Á¤¹ÐÁÖÁ¶ÀÇ ½ºÅ¹Å©Àç, ÃæÁøÀç·Î »ç¿ëµÈ´Ù.
ÇÕ¼º½Ç¸®Ä«´Â ±Ý¼ÓºÒ¼ø¹°ÀÌ ÀûÁö¸¸, ¿ø·á³ª Á¦¹ý¿¡ µû¸¥ Cl, OH±â°¡ ÇÔÀ¯µÇ¾î ÀÖ´Ù. ÇÕ¼º°è´Â ¹ÝµµÃ¼ÀÇ °¢Á¾ Ä¡±¸, ±¤ÇкÎǰ,
±¤¼¶À¯¿ë µîÀ¸·Î »ç¿ëµÈ´Ù.
¿ëÀ¶½Ç¸®Ä« ºÐü´Â ÀÔÀÚÇüÅ¿¡ µû¶ó¼ ÆÄ¼âÇü, ±¸Çü, EdgelessÇüÀ¸·Î ºÐ·ùÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. |
Á¦Á¶µ¿Çâ |
ÀϺ»ÀÇ Á¦Á¶ÇöȲÀº Àü±âÈÇÐ(ï³Ñ¨ûùùÊ),
¼ÒÈÀü°ø(á¹ûúï³Íï), NKK°¡ ÀÖÀ¸¸ç, À̵é ȸ»çÀÇ Àüü »ý»ê´É·ÂÀº 4,000Åæ Á¤µµ·Î ÃßÁ¤µÈ´Ù.
Àü±âÈÇÐ(ï³Ñ¨ûùùÊ)Àº ½Ì°¡Æú¿¡ ¹ÝµµÃ¼ºÀÁö¿ë ¿ëÀ¶½Ç¸®Ä«°øÀå(300Åæ/¿ù)À» °Ç¼³ÇßÀ¸¸ç, ÃÖ±Ù¿¡ Áõ¼³ÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁö°í ÀÖ´Ù.
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Ư¡ |
¿ëÀ¶½Ç¸®Ä«ÀÇ Ãµ¿¬°èÀÇ °ÍÀº, °í¼øµµÀÇ
±Ô¼®À» °í¿Â¿¡¼ ¿ëÀ¶½ÃÄѼ ±×°ÍÀ» ºÐ¼âÇÑ °ÍÀÌ´Ù. ±× Ư¼ºÀº ´ÙÀ½°ú °°´Ù.
¨ç |
¿ÆØÃ¢°è¼ö°¡ ±ØÈ÷ ÀÛ´Ù. |
¨è |
³»¿½ºÆ÷¸µ¼ºÀÌ ÇöÀúÇÏ°Ô ¿ì¼öÇÏ´Ù. |
¨é |
Åë±â¼ºÀÌ Àû´Ù. |
¨ê |
¿ÀüµµÀ²ÀÌ Àû´Ù. |
¨ë |
ÈÇÐÀûÀ¸·Î ¾ÈÁ¤ÇÏ´Ù. |
±× ¹Ý¸é¿¡ 1000¡É À̻󿡼´Â À¯¸®»óÀÌ Å©¸®½ºÅä¹ß¶óÀÌÆ®È ÇÏ¿© ¼öÃàÇØ¼, ¿ëÀûº¯È¸¦ ÀÏÀ¸ÄѼ ±× °µµ°¡ ÇöÀúÈ÷ ÀúÇÏÇÏ´Â
°áÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ Æ¯¼º ¶§¹®¿¡, ÀÌ Ãµ¿¬°è ½Ç¸®Ä« À¯¸®´Â ³»ÈÀç·á·Î¼ ö°°ü°èÀÇ ¿¬ÁÖ¼³ºñÀÇ Ä§Àû³ëÁñ, Ãâ¼±Åë(õóàÕ÷Ò), °í¿Â¼ºÇüÀç·á,
Á¤¹ÐÁÖÁ¶¿ë ½ºÅ¹Å©Àç·á, ÃæÁøÀç·á, ÇÁ¶ó½º¸¶ ¿ë»çÀç·á, ¼Ò°áüÀç·á, ³ë½É°üµî¿¡ »ç¿ëµÈ´Ù.
ÈÇÐÀûÀ¸·Î´Â ¾ÈÁ¤Çؼ Àü±âÀûÀ¸·Îµµ ¿ì¼öÇÑ Àý¿¬Àç·áÀ̸ç, °íÁÖÆÄ À¯µµÃ¼¼Õ½Çµµ ÀûÀ¸¹Ç·Î ¹ÝµµÃ¼ ºÀÁöÀç¿¡ »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ºÀÁöÀç´Â
¿ëÀ¶½Ç¸®Ä« 70-80%, ¿¡Æø½Ã¼öÁö 15-25%, °æÈÁ¦ ¹× ±âŸÀÇ ¼ººÐ 5%ÀÇ Á¶¼ºÀ¸·Î ¸¸µé¾îÁø´Ù. ºÀÁ¦ÀçÁß¿¡ ÃæÁøÀç·áÀÇ
ÃæÁøÀ²À» ³ôÀ̱â À§Çؼ ±¸»óǰÀÇ ¼ö¿ä°¡ ´Ã¾î³ª°í ÀÖ´Ù.
±¸»ó½Ç¸®Ä«´Â ¼öÁöÇÊ·¯·Î¼ ÃæÁøÀç·á´Â ¾Æ´Ï°í, À¯µ¿¼º ºÎ¿©Á¦·Î¼ ÀÌ¿ëµÇ°í, ±âŸÀÇ ¿ëµµ·Î¼´Â ÈÀåǰ µî¿¡µµ ÀÌ¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù.
ÇÑÆí ¼ÒÇÁÆ®¿¡¶ó¸¦ ÇÇÇϱâ À§Çؼ DRAM¿ëÀÇ ºÀÁöÀç·á¿¡´Â °í¼øµµ ÇÕ¼º±¸»ó½Ç¸®Ä«°¡ ÁÖ·Î »ç¿ëµÈ´Ù. |
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