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¿ëÀ¶½Ç¸®Ä«(Fused Silica)ÀÇ Æ¯Â¡ ¹× ÀÌ¿ëºÐ¾ß
Ư¡ ¿ëÀ¶ ½Ç¸®Ä«(Fused Silica) ÇÕ±Ý Ã¶(ÁÖ¹°)ÀÇ ¿­°£ ¾ÐÃâ¿¡ »ç¿ëÇϴ ħÀû³ëÁñ(NOZZLE)À» ±¸¼ºÇÏ´Â Àç·á·Î¼­ ¹é»öÀÇ ºñÁ¤Áú ¸Á¸ñ ±¸Á¶¸¦ °¡Áö°íÀÖ´Â ¹«Á¤Çü SILICA·Î¼­ ¼¼¶ó¹Í Àç·á Áß¿¡¼­ ¿­ÆØÃ¢ °è¼ö°¡ °¡Àå Àû´Ù.

¿ëÀ¶½Ç¸®Ä«´Â ¼øµµ°¡ ³ôÀº ¹é±Ô¼®À» 2,000¡ÉÀ̻󿡼­ ¿ëÀ¶ÇÏ¿© Á¦Á¶µÈ ¿ø·áÀÌ´Ù.
¿ëÀ¶µÈ ¿ø·á¸¦ ¿øÇÏ´Â ÀÔÀÚÇüÅ¿¡ µû¶ó ºÐ¼âÇÏ¿© ÀÔµµº° ¿ø·á¸¦ È¥ÇÕ»ç¿ë °¡´ÉÇÏ°í ´Üµ¶À¸·Îµµ Á¦Ç°È­µÈ´Ù.
ÀÌ¿ëºÐ¾ß ¿ëÀ¶½Ç¸®Ä«´Â ¿­ÆØÃ¢À²ÀÌ ¾ÆÁÖ À۱⠶§¹®¿¡(1,000¡É¿¡¼­ 0.05%) ³»¿­Ãæ°Ý ÀúÇ×¼ºÀÌ ¿ì¼öÇÏ´Ù. ±×¸®°í ¿ëÀ¶½Ç¸®Ä«ÀÇ ¼Ò¼ºÀº ÀÚ±â¼Ò°á¼ºÀÌ À־ ºñ±³Àû Àú¿Â¿¡¼­µµ ¼Ò¼ºÇÏ¿©µµ Ä¡¹ÐÇÑ Á¶Á÷À» ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ ¿ëÀ¶½Ç¸®Ä«´Â À¯µ¿¼ºÀÌ ÁÁÀ¸¹Ç·Î ÁÖÇü(¼®°íƲ)¿¡ À¯ÀÔ½ÃÄÑ º¹ÀâÇÑ Çü»óÀÇ Á¦Ç°µµ ¸¸µé ¼ö ÀÖ´Ù. ±×·¯¹Ç·Î ¿ëÀ¶½Ç¸®Ä«´Â ÄÚ¿ìÅ©½º·ÎÀÇ µµ¾î, ºñö±Ý¼ÓÀÇ Åë, °­ÀÇ ¿¬¼ÓÁÖÁ¶¿ë ³ëÁñ, À¯¸®¿ëÇØ·ÎÀÇ Æ®Àª, ¿Â¼ö¿ë·ÎÀç, ¹ÝµµÃ¼ µî¿¡ ¾²ÀδÙ.

¿ëÀ¶½Ç¸®Ä«´Â ±âÁ¸¿¡ ÀϺ» µîÁö¿¡¼­ Àü·® ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ´ø Á¦Ç°À¸·Î¼­, ħÀû³ëÁñÀ» Á¦Á¶ÇÏ´Â Àç·á·Î´Â ½Ç¸®Ä«¸¦ ´ëüÇÒ ¹°ÁúÀº ÇöÀç Á¸Àç ÇÏÁö ¾Ê´Â´Ù. ´ç»ç´Â ±¹³» °í¼øµµ ¿ëÀ¶ ½Ç¸®Ä« »ý»ê¾÷üÀÌ´Ù.

(ÁÖ)º¸¶÷ÄɸÞÅ»Àº Denka(ÀϺ»)¿¡¼­ ÁÖ·Î ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ´ø Á¦Ç°À» ±¹»êÈ­ÇÔÀ¸·Î¼­ ¼ö¿ä¾÷ü¿¡ Çõ½ÅÀû ¿ø°¡Àý°¨(¾à25%)¿¡ ±â¿© ÇÏ¿´À¸¸ç, Á¦Ç°ÀÇ Ç°ÁúÀ» °áÁ¤ÇÏ´Â SlipÇü¼º°ú ÀÔÀÚÇüŰ¡ ±âÁ¸ ¼öÀÔ Á¦Ç°º¸´Ùµµ ¿ì¼öÇÏ´Ù´Â Æò°¡¸¦ ¹Þ°í ÀÖ´Ù. °¡°Ý¸é ¿¡¼­µµ °æÀï·ÂÀ» È®º¸Çϰí ÀÖ¾î ¼öÃâ½ÃÀå °³Ã´À» Ȱ¹ßÈ÷ ÁøÇà ÇϰíÀÖ´Ù.


¿ëÀ¶½Ç¸®Ä« (Fused Silica) ¼¼ºÎ Ư¡
ºÐÀÚ½Ä SiO2
ºÐÀÚ·® 60.08
¼º»ó ¹é»öÅõ¸í ¶Ç´Â ºÒÅõ¸íÇÑ ºñÁ¤Áú ¸Á¸ñ±¸Á¶¸¦ °¡Áö°í ÀÖÀ¸¸ç, °ø¾÷Àç·áÁß¿¡¼­ ¿­ÆØÃ¢°è¼ö°¡ °¡Àå ÀÛ´Ù.
¿¬È­Á¡(æãûùïÇ) : 1,650¡É
ºñÁß(Ýïñì) : 2.21
°áÁ¤±¸Á¶(Ì¿ïÜϰðã) : ºñÁ¤Áú
¿­ÆØÃ¢(æðø³óì)°è¼ö(Ìõâ¦) : 0.5¡¿10(-6)(1000¡É)
º°¸í ¼öÁ¤(Quartz), ¼®¿µÀ¯¸®(Quartz glass), ÇÕ¼º¼®¿µ(Synthetic Quartz), ½Ç¸®Ä«(Silica) ÀÌ»êÈ­±Ô¼Ò(Silicon dioxide), ½Ç¸®Ä«À¯¸®(Silica glass)
°³¼³ ¿ëÀ¶½Ç¸®Ä« Áß ÇÕ¼º¼®¿µÀº Á¾·¡ ÀÎÀç(ìÔî§), Àå½Äǰ, À¯¸®µîÀ¸·Î »ç¿ëµÇ¾úÁö¸¸ ±Ù·¡¿¡ À̸£·¯ Åë½Å¿ë ±¤ÄÉÀ̺í¿ë Àç·á·Î ÀÌ¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù.
Á¦¹ý ¿ëÀ¶½Ç¸®Ä«´Â SiO2 ´ÜÀϼººÐÀ¸·Î ±¸¼ºµÇ¾î ÀÖÀ¸¸ç, Á¦¹ýÀº ¿ø·á¿¡ µû¶ó¼­ ´ÙÀ½°ú °°ÀÌ ºÐ·ùÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
¨ç õ¿¬¼öÁ¤ ¶Ç´Â ±Ô¼®À» ¿ø·á·Î ÇØ¼­, ¾ÆÅ©(ºÒ²É)¹æÀüÀ̳ª »ê¼ö¼ÒºÒ²ÉÀ¸·Î ¿ëÀ¶½ÃÄÑ Á¦Á¶Çϴ õ¿¬½Ç¸®Ä«À¯¸®.
¨è »ç¿°È­±Ô¼Ò ¶Ç´Â ½Ç¶õµîÀÇ ±âü¿ø·á¸¦ »ê¼ö¼ÒºÒ²ÉÀ̳ª »ê¼ÒÇÁ¶ó½º¸¶Áß¿¡¼­ ¿­ºÐÇØÇÏ¿© ÇÕ¼ºÇÏ´Â ÇÕ¼º½Ç¸®Ä«À¯¸®°¡ ÀÖ´Ù.
õ¿¬½Ç¸®Ä«À¯¸®´Â ¿ø·á·Î ±Ô¼®À» »ç¿ëÇÑ ºÒÅõ¸í½Ç¸®Ä«À¯¸®¿Í Á¤Á¦ õ¿¬¼öÁ¤À» »ç¿ëÇÑ Åõ¸í½Ç¸®Ä«À¯¸®·Î ³ª´©¾îÁø´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Ãµ¿¬°è´Â ¿ø·á¿¡¼­ ±âÀÎÇÏ´Â Al, Fe, NaµîÀÇ ºÒ¼ø¹°ÀÌ ÇÔÀ¯µÇ¾î ÀÖ´Ù. À̵é õ¿¬°è´Â ÁַΠö°­ÀÇ ¿¬ÁÖ¼³ºñÀÇ Ä§Àû³ëÁñ, °í¿Â¼ºÇüÀç, Á¤¹ÐÁÖÁ¶ÀÇ ½ºÅ¹Å©Àç, ÃæÁøÀç·Î »ç¿ëµÈ´Ù.

ÇÕ¼º½Ç¸®Ä«´Â ±Ý¼ÓºÒ¼ø¹°ÀÌ ÀûÁö¸¸, ¿ø·á³ª Á¦¹ý¿¡ µû¸¥ Cl, OH±â°¡ ÇÔÀ¯µÇ¾î ÀÖ´Ù. ÇÕ¼º°è´Â ¹ÝµµÃ¼ÀÇ °¢Á¾ Ä¡±¸, ±¤ÇкÎǰ, ±¤¼¶À¯¿ë µîÀ¸·Î »ç¿ëµÈ´Ù.
¿ëÀ¶½Ç¸®Ä« ºÐü´Â ÀÔÀÚÇüÅ¿¡ µû¶ó¼­ ÆÄ¼âÇü, ±¸Çü, EdgelessÇüÀ¸·Î ºÐ·ùÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
Á¦Á¶µ¿Çâ ÀϺ»ÀÇ Á¦Á¶ÇöȲÀº Àü±âÈ­ÇÐ(ï³Ñ¨ûùùÊ), ¼ÒÈ­Àü°ø(á¹ûúï³Íï), NKK°¡ ÀÖÀ¸¸ç, À̵é ȸ»çÀÇ Àüü »ý»ê´É·ÂÀº 4,000Åæ Á¤µµ·Î ÃßÁ¤µÈ´Ù.

Àü±âÈ­ÇÐ(ï³Ñ¨ûùùÊ)Àº ½Ì°¡Æú¿¡ ¹ÝµµÃ¼ºÀÁö¿ë ¿ëÀ¶½Ç¸®Ä«°øÀå(300Åæ/¿ù)À» °Ç¼³ÇßÀ¸¸ç, ÃÖ±Ù¿¡ Áõ¼³ÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁö°í ÀÖ´Ù.
Ư¡ ¿ëÀ¶½Ç¸®Ä«ÀÇ Ãµ¿¬°èÀÇ °ÍÀº, °í¼øµµÀÇ ±Ô¼®À» °í¿Â¿¡¼­ ¿ëÀ¶½ÃÄѼ­ ±×°ÍÀ» ºÐ¼âÇÑ °ÍÀÌ´Ù. ±× Ư¼ºÀº ´ÙÀ½°ú °°´Ù.
¨ç ¿­ÆØÃ¢°è¼ö°¡ ±ØÈ÷ ÀÛ´Ù.
¨è ³»¿­½ºÆ÷¸µ¼ºÀÌ ÇöÀúÇÏ°Ô ¿ì¼öÇÏ´Ù.
¨é Åë±â¼ºÀÌ Àû´Ù.
¨ê ¿­ÀüµµÀ²ÀÌ Àû´Ù.
¨ë È­ÇÐÀûÀ¸·Î ¾ÈÁ¤ÇÏ´Ù.
±× ¹Ý¸é¿¡ 1000¡É À̻󿡼­´Â À¯¸®»óÀÌ Å©¸®½ºÅä¹ß¶óÀÌÆ®È­ ÇÏ¿© ¼öÃàÇØ¼­, ¿ëÀûº¯È­¸¦ ÀÏÀ¸ÄѼ­ ±× °­µµ°¡ ÇöÀúÈ÷ ÀúÇÏÇÏ´Â °áÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ Æ¯¼º ¶§¹®¿¡, ÀÌ Ãµ¿¬°è ½Ç¸®Ä« À¯¸®´Â ³»È­Àç·á·Î¼­ ö°­°ü°èÀÇ ¿¬ÁÖ¼³ºñÀÇ Ä§Àû³ëÁñ, Ãâ¼±Åë(õóàÕ÷Ò), °í¿Â¼ºÇüÀç·á, Á¤¹ÐÁÖÁ¶¿ë ½ºÅ¹Å©Àç·á, ÃæÁøÀç·á, ÇÁ¶ó½º¸¶ ¿ë»çÀç·á, ¼Ò°áüÀç·á, ³ë½É°üµî¿¡ »ç¿ëµÈ´Ù.

È­ÇÐÀûÀ¸·Î´Â ¾ÈÁ¤Çؼ­ Àü±âÀûÀ¸·Îµµ ¿ì¼öÇÑ Àý¿¬Àç·áÀ̸ç, °íÁÖÆÄ À¯µµÃ¼¼Õ½Çµµ ÀûÀ¸¹Ç·Î ¹ÝµµÃ¼ ºÀÁöÀç¿¡ »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ºÀÁöÀç´Â ¿ëÀ¶½Ç¸®Ä« 70-80%, ¿¡Æø½Ã¼öÁö 15-25%, °æÈ­Á¦ ¹× ±âŸÀÇ ¼ººÐ 5%ÀÇ Á¶¼ºÀ¸·Î ¸¸µé¾îÁø´Ù. ºÀÁ¦ÀçÁß¿¡ ÃæÁøÀç·áÀÇ ÃæÁøÀ²À» ³ôÀ̱â À§Çؼ­ ±¸»óǰÀÇ ¼ö¿ä°¡ ´Ã¾î³ª°í ÀÖ´Ù.

±¸»ó½Ç¸®Ä«´Â ¼öÁöÇÊ·¯·Î¼­ ÃæÁøÀç·á´Â ¾Æ´Ï°í, À¯µ¿¼º ºÎ¿©Á¦·Î¼­ ÀÌ¿ëµÇ°í, ±âŸÀÇ ¿ëµµ·Î¼­´Â È­Àåǰ µî¿¡µµ ÀÌ¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù.
ÇÑÆí ¼ÒÇÁÆ®¿¡¶ó¸¦ ÇÇÇϱâ À§Çؼ­ DRAM¿ëÀÇ ºÀÁöÀç·á¿¡´Â °í¼øµµ ÇÕ¼º±¸»ó½Ç¸®Ä«°¡ ÁÖ·Î »ç¿ëµÈ´Ù.